製品解析＜静電チャック＞

生産・製造技術(化学)

千葉県

￥

600万円〜1000万円

正社員

仕事内容

■顧客(製造装置メーカー)との協議をもとに静電チャックの性能を向上させる設計立案をご担当いただきます。

【静電チャックとは】
静電チャックとは半導体を製造する過程において、基板材料となるシリコンウェハーを大気・真空を問わず吸着、把持する機器です。
半導体プロセスにおけるシリコンウェハーの固定・矯正・冷却をする役割があります。

【具体的な職務内容】
・シミュレーションソフトにより構造解析、熱流体解析、電磁場解析の結果を導出
└金属の中の冷媒が流れる流路を設計する際に熱流体が必要になります。
└金属とセラミックの熱膨張差が大きいので、接着剤が合わないと壊れてしまったり剥がれてしまいます。
それを防ぐために熱膨張を計算して変形をシュミレーションしたりする必要があり、構造解析が必要になります。

・解析データから性能を比較分析、静電チャックの高性能化設計へ反映させる

※使用ツールは　Ansysがメインとなります。

【同社静電チャックの強み】
・他社製品に比べて摩耗に強く、頑丈であることが同社製品の強みです。
ある特性において性能がトップであり、同社製品の引き合いが増えておりま...

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